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水平型离子溅射镀膜机

  • 所属分类:离子溅射镀膜机

  • 点击次数:
  • 发布日期:2016/05/14
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详细介绍

型号:IBSH-1030


特点:


1、基板水平放置,垂直监控;


2、靶材左右移动,位置和速度可编程控制;


3、基板:12吋×1 或 6吋×4;


4、靶材:两靶,三靶或四靶可更换;


5、多光路监控。


6、无膜厚分布修正板

工艺参数:

一,真空系统

1、极限真空度:4.0×10-5Pa 

2、抽至10Pa所用时间:≦ 10 分钟

3、漏率: 3.0×10-5Pa m3/sec

二,控制精度

1、靶材旋转:0.005°

2、工件旋转: <1000RPM

3、编码器: 12000lines;480000Counts/rev

4、膜厚修正板:0.005°

5、挡板:  position switch

三,光学监控系统OMS

1、波长范围:380nm~1650nm

2、光源稳定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02%

3、波长分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm

4、波长准确度: 白光0.2nm ,激光0.1nm




      杰莱特拥有世界领先的真空镀膜技术,已申请多项专利。生产多种高质量镀膜设备,同时承揽镀膜设备的维修和改造以及镀膜工艺咨询服务等业务。

      公司生产的各型镀膜机,是针对特定市场和客户群体开发的新产品,与目前市场上普遍采用的镀膜设备相比具备以下突出优势:单体同步精密监控,实时膜厚分布控制。因此适合做各类高难度镀膜产品。单片薄膜产品的面积越大,优势越明显。而电子束镀膜机还增加了双面镀膜功能,适合半导体激光器的端面镀膜。

      杰莱特秉承质量第一,信誉至上的理念专注镀膜行业数十年,我公司将利用自身技术优势,根据客户需求,生产各种类型的高端精密镀膜设备,打破目前在高端镀膜机市场全部由国外企业垄断的局面,欢迎各界人士来电咨询!






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